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潔凈室特定要求的檢測

發(fā)表時(shí)間:2020/5/18  |  點(diǎn)擊率:1227

1、機(jī)械振動(dòng)的檢測
(1)機(jī)械振動(dòng)的來源。機(jī)械振動(dòng)的來源主要有以下幾個(gè)方面:大地固有的振動(dòng);潔凈室運(yùn)行用設(shè)備的振動(dòng);生產(chǎn)用設(shè)備的振動(dòng);交通工具的振動(dòng);建筑設(shè)備的振動(dòng);水流引起的振動(dòng);氣流引起的振動(dòng)等。
(2)振動(dòng)的危害。其影響精密儀器的準(zhǔn)確度和精密加工的精確度。
(3)振動(dòng)的測量。振動(dòng)主要有兩個(gè)技術(shù)參數(shù):振動(dòng)頻率和振幅。采用減振措施以后,振動(dòng)量可以減小。用振動(dòng)儀可以直接測量振動(dòng)的強(qiáng)度。
2、靜電的檢測
(1)靜電檢測的需求。靜電有可能損壞電子設(shè)備、儀器儀表、甚至傷害人體,引發(fā)爆炸或燃燒。靜電對(duì)于集成電路的影響較大,所以電子行業(yè)對(duì)于靜電檢測的要求較高?!稘崈魪S房設(shè)計(jì)規(guī)范》和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》兩個(gè)強(qiáng)制性的國家標(biāo)準(zhǔn)都是中國電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)責(zé)起草的,基本上代表了電子行業(yè)的觀點(diǎn)。標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)于靜電有比較具體的要求。GB 50472-2008將靜電分為三個(gè)等級(jí),相應(yīng)的靜電點(diǎn)位值為:一級(jí)≤100V;二級(jí)≤200V;三級(jí)≤1000V。
(2)靜電的主要檢測參數(shù):包括電壓、電阻、電場、離子等。
(3)檢測方法。靜電檢測可參照GB 50591-2010和電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《電子產(chǎn)品和制造防靜電系統(tǒng)測試方法》(SJ/T10694)進(jìn)行。
3、電磁場的檢測
(1)電磁場的來源。有交變電流就會(huì)有電磁場。高頻電流會(huì)產(chǎn)生電磁波。
(2)電磁場的危害。一般的電磁場會(huì)影響儀器儀表和自動(dòng)控制系統(tǒng)。強(qiáng)電磁場對(duì)人體有害。
(3)電磁場的測量。電磁場主要有兩個(gè)技術(shù)指標(biāo),即頻率和強(qiáng)度,可以用場強(qiáng)儀進(jìn)行檢測。
4、射線的檢測
(1)常見的射線。常見的射線有電磁波、紫外線、X射線、γ射線、α射線、β射線等。
(2)射線的來源。交換變化的電磁場會(huì)產(chǎn)生電磁波,高頻的電磁波呈現(xiàn)射線特性,可以稱為電磁射線。紫外線多來源于紫外光源和太陽光。X射線多來源于被高能電子激發(fā)的物質(zhì)。α射線、β射線多來源于具有放射性的重元素。
(3)檢測方法。射線一般可以用相應(yīng)的射線計(jì)數(shù)器檢測,射線計(jì)數(shù)器一般都是直讀儀器,使用比較方便。需要注意射線對(duì)人體危害較大,檢測人員需要注意自我保護(hù)。
5、有害氣體的檢測
(1)有害氣體的來源。潔凈室有害氣體的來源主要有:通風(fēng)帶進(jìn)的有害氣體;室內(nèi)裝飾材料散發(fā)的有害氣體;室內(nèi)設(shè)備散發(fā)的有害氣體;工作過程產(chǎn)生的有害氣體;人員散發(fā)的有害氣體。
(2)有害氣體的種類。不同的來源有不同的有害氣體,不同的對(duì)象有不同的有害氣體。有的氣體對(duì)人體有害,有的氣體對(duì)儀器設(shè)備有害,有的氣體對(duì)產(chǎn)品有害。
(3)有害氣體的檢測方法。
1)用直讀儀器直接讀出有害氣體的濃度。直讀儀器主要由兩部分組成:化學(xué)傳感器和電子放大顯示系統(tǒng)。此方法的特點(diǎn)是快遞、方便,缺點(diǎn)是往往精確度較低、儀器的使用壽命較短。
2)采樣后帶回實(shí)驗(yàn)室,使用光譜儀、色譜儀等分析確定有害氣體的濃度。此方法的特點(diǎn)是精確度較高、可靠性較強(qiáng),缺點(diǎn)是測定程序較復(fù)雜、需要的時(shí)間較長。

 

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