我國的空氣潔凈技術(shù)起始于20世紀(jì)50年代中期，至今大致經(jīng)歷了四四個發(fā)展階段：
（1）從20世紀(jì)50年代中期到60年代中期，主要借鑒前蘇聯(lián)的技術(shù)，服務(wù)于國防、航天、原子能工業(yè)與科研。與現(xiàn)代潔凈技術(shù)相比，在廠房、設(shè)備、氣流組織等各方面還都比較原始和粗糙，屬于起步階段。
（2）從20世紀(jì)60年代中期到70年代后期，由于國內(nèi)外的種種原因，主要靠自力更生發(fā)展。當(dāng)時參照了美國和日本的標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)，逐步研制成過濾器和納焰法試驗臺、潔凈工作臺、粒子計數(shù)器、裝配式潔凈室及其他潔凈室附屬設(shè)備（風(fēng)淋室、傳遞窗、余壓閥等），編制了“空氣潔凈技術(shù)措施”，奠定了我國潔凈技術(shù)的基礎(chǔ)。
（3）從20世紀(jì)70年代末到80年代末，由于實行了改革開放的國策，發(fā)達(dá)國家的技術(shù)與設(shè)備開始進(jìn)入我國市場，現(xiàn)代潔凈技術(shù)在我國的大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業(yè)潔凈領(lǐng)域得到迅速發(fā)展，裝備0.1um過濾器的10級潔凈室和無隔板過濾器研制成功。同時在醫(yī)療、制藥、生物、化妝品與食品行業(yè)生物潔凈室也得到應(yīng)用，一些制藥廠對原有空調(diào)系統(tǒng)的改造中開始采用生物潔凈技術(shù)，簡易的水平“單向流”潔凈室和裝配式無菌病房用于醫(yī)院，生物安全工作臺和細(xì)菌采樣儀研制成功。1982年我國醫(yī)藥行業(yè)GMP公布，1983年中國電子學(xué)會潔凈技術(shù)分會成立，1985年GBJ73-1984《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》頒布，我國的潔凈技術(shù)進(jìn)入穩(wěn)步發(fā)展階段。
（4）20世紀(jì)80年代末至今，在大規(guī)模集成電路領(lǐng)域全面引進(jìn)境外資金、技術(shù)與設(shè)備，形成一批的品牌企業(yè)，潔凈室的規(guī)模越來越大，風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組（FFU）和微環(huán)境技術(shù)得到應(yīng)用和推廣。在醫(yī)療和制藥領(lǐng)域潔凈技術(shù)趨向成熟與規(guī)范，生物安全技術(shù)發(fā)展迅速。包括微環(huán)境、密褶型無隔板過濾器、微計算機(jī)控制過濾器性能測試臺等潔凈技術(shù)相關(guān)的技術(shù)設(shè)備基本可以實現(xiàn)國產(chǎn)，同時還開始了0.1um光刻機(jī)及相關(guān)環(huán)境的研制。